高压放电式：使用一定频率的高压电流制造高压电晕电场，使电场内或电场周围的氧分子发生电化学反应，从而制造臭氧。

紫外线照射式：通过紫外线照射氧气或空气，使氧气分子分解为氧原子，氧原子再和氧气分子结合形成臭氧。

电解式：将水电解为氧气和氢气，氧气在阳极处失去电子，形成氧离子，氧离子与水反应生成臭氧。